MEMS，MEMS全称Micro Electromechanical System，即微机电系统，是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统，是一个独立的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。 MEMS传感器，是MEMS中的核心元件，它是一种将能量从一种形式转变成另一种形式，并针对特定可测量的输入为用户提供一种可用的能量输出的微型器件，它是采用微电子和微机械加工技术制造出来的。
中国作为全球最大的电子产品生产基地，消耗了全球近二分之一的MEMS器件，中国MEMS产业迅速向全国地区渗透，已在长三角和京津冀地区建立完整的产学研布局，MEMS产业规模和资源主要集中在东部沿海地区。
2019年中国MEMS市场依然保持增长，整体市场规模达到597.8亿元，同比增长18.3%，市场增速高于传感器市场增速。网络通信仍然是MEMS最大的市场，市场主要是以国外厂商为主，美国厂商占比过半。
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